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단일 헤드 고진공 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터
VTC-600-1HD 하나의-머리 마그네트론 스퍼터링 Coater는 당사에서 새롭게 개발한 고진공 코팅 장비로서 단층 또는 다층 강유전체막, 전도성막, 합금막, 반도체막, 세라믹막, 유전체 필름, 광학 필름, 산화막, 하드 필름, PTFE 필름 등 VTC-600-1HD 단일 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터에는 강한 자기 타겟이나 약한 자기 타겟을 선택하는 하나의 타겟 건이 장착되어 있습니다.
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듀얼 헤드 고진공 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터
VTC-600-2HD 듀얼-머리 마그네트론 스퍼터링 Coater는 당사에서 새롭게 개발한 고진공 코팅 장비로서 단층 또는 다층 강유전체막, 전도성막, 합금막, 반도체막, 세라믹막, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등 VTC-600-2HD 듀얼 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터에는 2개의 타겟 건과 2개의 전원 공급 장치, 비전도성 스퍼터 코팅을 위한 1개의 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 재료 및 전도성 재료의 스퍼터 코팅을 위한 DC 전원 공급 장치 1개.
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3개의 스퍼터링 소스를 갖춘 플라즈마 스퍼터링 코터
VTC-600-3HD 쓰리엘-머리 마그네트론 스퍼터링 Coater는 당사에서 새롭게 개발한 코팅 장비로 단층 또는 다층 강유전체막, 도전막, 합금막, 반도체막, 세라믹막, 유전체막 등을 제조하는데 사용됩니다. , 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등 VTC-600-3HD 3헤드 마그네트론 스퍼터링 코터에는 3개의 타겟 건과 비전도성 재료의 스퍼터 코팅을 위한 1개의 RF 전원 공급 장치, 2개의 DC 전원이 장착되어 있습니다. 전도성 재료의 스퍼터 코팅용 소모품.
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3개의 스퍼터링 소스와 글로브 박스가 포함된 플라즈마 스퍼터링 코터
VGB-600-3HD 박막 배터리 준비 시스템은 글로브 박스 내에서 실험 작업을 수행할 수 있으며 단층 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등. 이 시스템에는 다양한 타겟 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 3개의 타겟 건과 1개의 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. RF 전원 공급 장치는 전송 스위치를 통해 모든 대상 헤드에 연결할 수 있습니다.
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