기판 및 웨이퍼 코팅을 위한 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터
1. 글러브 박스가 장착된 박막 배터리 제조 시스템은 3개의 타겟 건을 갖추고 있으며, 매칭되는 RF 전원 공급 장치는 변환 스위치를 통해 모든 타겟 헤드에 연결될 수 있으며, 이는 다양한 타겟 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다(타겟 건은 고객 요구에 따라 언제든지 교체 가능).
2. 글러브 박스를 갖춘 박막 배터리 제조 시스템은 다양한 박막을 제조할 수 있으며 널리 사용됩니다.
3. 글러브 박스가 장착된 박막 배터리 준비 시스템은 크기가 작고 조작이 매우 쉽습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
컴팩트 플라즈마 스퍼터링 코터 소개:
글러브 박스가 장착된 비지비(VGB)-600-3HD 박막 전지 제조 시스템은 글러브 박스 내에서 실험 작업에 사용할 수 있으며, 단층 또는 다층 강유전체 박막, 전도성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막, 산화물 박막, 경질 박막, 폴리테트라플루오로에틸렌 박막 등을 제조하는 데 사용됩니다. 이 소형 플라즈마 스퍼터링 코터는 3개의 타겟 건을 갖추고 있으며, 변환 스위치를 통해 RF 전원 공급 장치를 모든 타겟 헤드에 연결할 수 있어 다양한 타겟 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다. 유사 장비와 비교했을 때, 이 소형 플라즈마 스퍼터링 코터는 널리 사용될 뿐만 아니라 크기가 작고 조작이 간편하다는 장점이 있습니다. 실험실에서 재료 박막을 제조하는 데 이상적인 장비입니다. 특히 박막 전지, 고체 전해질, OLED 관련 실험실 연구에 적합합니다. 일반적인 마그네트론 스퍼터링과 비교하여 리 타겟 및 리튬 기반 재료 타겟의 코팅 실험에 사용할 수 있습니다. 이 장비는 신에너지 산업 분야의 실험실 코팅 실험에 이상적인 장비입니다.
3가지 타겟 RF 마그네트론 스퍼터링 코터의 장점:
1. 3개의 스퍼터링 타겟을 장착하여, 하나의 RF 전원 공급 장치를 전환 스위치를 통해 모든 타겟 헤드로 전환할 수 있어 다양한 타겟 재료의 스퍼터링 증착이 가능합니다(타겟 건은 사용자 요구 사항에 따라 교체 가능).
2. 다양한 종류의 박막을 제조할 수 있으며, 적용 범위가 넓습니다.
3. 컴팩트한 사이즈와 간편한 조작
4. 전체 시스템은 모듈형 설계를 채택했습니다. 진공 챔버, 진공 펌핑 장치, 제어 전원 공급 장치가 독립적으로 분리되어 있어 사용자 요구 사항에 따라 유연하게 구성할 수 있습니다.
5. 사용자는 실제 필요에 따라 전원 공급 장치 구성을 선택할 수 있습니다. 즉, 하나의 전원 공급 장치가 여러 대상을 제어하거나 여러 전원 공급 장치가 각 대상을 독립적으로 제어합니다(선택 사항).
6. 이 시스템은 다양한 산화에 민감한 표적 물질을 사용하여 증착을 위해 글러브 박스 내부에서 작동될 수 있습니다.
컴팩트 플라즈마 스퍼터링 코터의 기술적 매개변수:
| 제품명 | 비지비(VGB)-600-3HD 컴팩트 플라즈마 스퍼터링 코터 |
| 제품 모델 | 비지비(VGB)-600-3HD |
| 주요 매개변수 | 3타겟 마그네트론 스퍼터링 부분: 1. 전원 전압: 220V 50Hz. 2. 총 전력: 2.5kW. 3. 최대 진공도: < E-6mbar (당사 기계식 펌프 장비와 함께 사용하면 E-3mbar에 도달할 수 있음). 4. 작동 온도: RT-500℃, 정확도 ±1℃(실제 필요에 따라 온도를 높일 수 있음). 5. 표적 총의 수: 3개. 6. 타깃총 냉각 방식 : 수냉. 7. 타겟 크기: Ø2″, 두께 0.1mm-5mm(두께는 타겟 소재에 따라 다름). 8. 스퍼터링 전력: 300W(RF)/500W(DC). 9. 샘플 캐리어: Ø140mm. 10. 샘플 운반 속도: 1rpm~20rpm 내에서 조절 가능. 11. 보호가스 : 아르, N2 등의 불활성가스2. 12. 유입 가스 경로: 질량 유량계는 2개의 유입 경로를 제어하며, 한 흐름은 100 SCCM이고 다른 흐름은 200 SCCM입니다. |
G러브박스 부분: 1. 전원 공급 : 단상 AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. 쉘 소재: 304 스테인리스 스틸. 3. 글러브 박스 챔버: 1220mm×760mm×900mm. 4. 전단계 챔버: 전단계 챔버는 2개이며, 대형 전단계 챔버는 Ø360mm×600mm이고, 소형 전단계 챔버는 Ø150mm×300mm입니다. 5. 챔버 환경 : 수분함량 <1ppm(20℃, 1atm), 산소함량 <1ppm(20℃, 1atm). 6. 작동 가스 : N과 같은 불활성 가스2, 아르, 그. 7. 제어 가스: 압축 공기 또는 불활성 가스. 8. 환원가스 : 작동가스와 H2의 혼합물2(정화 시스템이 물만 제거하는 기능만 가지고 있다면, 환원가스는 작동가스와 동일함). 9. 가스 정화 시스템: 독일 바스프 탈산소 재료, 미국 유오피 수분 흡수 재료, 정화 시스템 재생 과정의 자동 제어, 자동 탈수 및 탈산소 기능으로 가스 순도를 수분 <1ppm, 산소 <1ppm으로 장기간 유지할 수 있습니다. 10. 압력 제어 시스템: 캐비티 공기 압력은 PLC 터치스크린으로 자동으로 제어할 수 있으며 제어 정확도는 ±1Pa이며 풋 스위치로 수동으로 제어할 수도 있습니다. 11. 필터 시스템: 필터는 입구와 출구 끝에 설치되며 여과 정확도는 0.3μm입니다. 12. 제어 시스템: 지멘스 컬러 터치 스크린(6인치), PLC 제어 시스템, 중국어와 영어 이중 언어 전환 가능; 수질 프로브는 미국 GE 브랜드를 채택하고, 0-1000ppm 터치 스크린 디스플레이, 정확도는 0.1ppm입니다. 산소 송신기는 미국 알이 브랜드를 채택하고 있으며, 0-1000ppm 터치 스크린 디스플레이, 정확도는 0.1ppm입니다. 압력 센서는 미국 세트라 브랜드를 채택하고, -2500-2500Pa 터치 스크린 디스플레이, 정확도는 ±1Pa입니다. 13. 진공 펌프 : 영국 에드워즈 브랜드, 펌핑 속도 8.4m3/h-12분3/시간. 14. 장갑: 미국 북쪽 브랜드 부틸 합성 고무. 15. 조명 시스템: 필립스 브랜드 형광등. | |
| 제품 사양 | · 3타겟 마그네트론 스퍼터링 부분 : 950mm×460mm×810mm. · 글러브박스 부분 : 2300mm×1500mm×1900mm. |
3개 타겟의 품질 약속 RF 마그네트론 스퍼터링 코터:
당사는 제공하는 콤팩트 플라스마 스퍼터링 코터가 신품이고 미사용이며, 계약서에 명시된 품질, 사양 및 성능 요구 사항을 완전히 충족하고, 글러브 박스가 장착된 당사의 박막 배터리 준비 시스템이 올바른 설치, 올바른 사용 및 유지 관리 조건 하에서 정상적으로 작동할 수 있음을 보증합니다. 또한, 서비스 수명 내에도 정상적으로 작동할 수 있습니다.
보증:
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인해 녹슨 부품 제외)
우리의 서비스:
저희 제품은 탁월한 성능, 안정적인 품질, 그리고 장기적인 내구성으로 많은 고객으로부터 인정받고 있습니다. 저희는 제품 선정, 설치 및 시운전, 운영 교육 등 고객에게 포괄적인 서비스 지원을 제공할 수 있는 전문 기술팀을 보유하고 있습니다. 사용 중 어떤 문제가 발생하더라도, 저희는 귀사의 생산 라인이 효율적이고 안정적으로 운영될 수 있도록 적시에 효과적인 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다할 것입니다.
회사 소개:
얼마 전 저희 싱가포르 지사는 아시아 포토닉스 엑스포(원숭이 2025)에 참가하여 연삭 및 연마기, 코팅기 등 다양한 제품을 선보였습니다. 제품에 대한 자세한 설명을 듣고 많은 고객들이 저희 장비를 칭찬하며 협력 의사를 표명했습니다.
